CeaLution® F7068是一種非常純凈的全氟醚橡膠材質(zhì)(FFKM)，具有優(yōu)異的等離子耐受性、最低的顆粒產(chǎn)生、廣譜的化學(xué)相容性，能在各種復(fù)雜工況下保持穩(wěn)定密封。優(yōu)異的綜合性能，使它成為大部分薄膜和干法蝕刻工藝的最優(yōu)密封選擇。
